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國內(nèi)首創(chuàng)基于微棱鏡陣列的哈特曼波前傳感器，2004年4月中旬由中科院光電所研制成功。該項技術(shù)以二元光學(xué)制作的鋸齒形相位光柵陣列（微棱鏡陣列）代替以往的微透鏡陣列，建立了一種新型哈特曼波前傳感器。該項技術(shù)已申請在光學(xué)檢測、人眼像差測量和脈沖光光束質(zhì)量診斷等應(yīng)用場合的國家發(fā)明專利，是我國在光束診斷和光學(xué)檢驗技術(shù)領(lǐng)域的又一項創(chuàng)新突破。<BR> <BR> 該項研究為中科院光電所領(lǐng)域前沿部署課題項目，目標在于開展波前探測技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新研究，與原有微透鏡哈特曼傳感器技術(shù)比較，本技術(shù)創(chuàng)新性地采用鋸齒形相位光柵陣列，建立了基于該微棱鏡陣列的新型哈特曼波前傳感器，完全實現(xiàn)了波前測量功能，從而使光電所在哈特曼波前傳感器創(chuàng)新研制領(lǐng)域擁有了自己的技術(shù)專利，將有助于打破國外專利限制，推動產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。<BR> <BR> 目前該技術(shù)已開始向產(chǎn)品化試制階段過渡，近期目標為研制適用于車間環(huán)境下的光學(xué)鏡面檢測儀器，相對于對環(huán)境敏感的干涉儀和要求經(jīng)驗、無法定量的樣板法檢驗，將為工廠光學(xué)檢測提供一種對環(huán)境要求低、使用方便、性價比更為合理的測量產(chǎn)品。
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