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美國國家標準技術研究院研制出芯片元件測量新標準

　　電腦芯片中的元件有的僅僅只有40納米，還不到人頭發絲的千分之一。這些元件在美國國家標準技術研究院的物理學家、工程師、統計學家和其它有關人員不懈的努力下已經可以被精確的標度和校準，使得電子電路的生產更加現代化。

　　美國國家標準技術研究院研究的這種新型測量方法歷時四年研究而成，通過測量原子衍射電子產生的間距的算法,算出元件的直徑，提供了一種測量嵌入式芯片中的精密線形元件的方法。40納米至275納米的植入晶體硅中的元件都可以用此方法進行測量。生產商可以用這種校準方法校準微處理器的電子電路，比如芯片中控制電子流動部分的元器件。

　　研究院參與研究的一位研究員Richard Allen說道，在半導體行業中，必須全力以赴才能保持生存。這項研究就是為了測量線性材料而開展的。

　　這種新型的參考標準測量物被安置在晶體硅片中，經過同國家標準技術研究院2001年生產的樣本進行對比發現，這種新的標準測量物提供了更寬的測量范圍，能測量的元器件更細小。測量精度也從原來的14納米提高為小于2納米。在這種新的標準測量物問世以前，各個生產公司都是通過各自內部的標準進行測量的。

　　在加州圣何塞舉辦的國際社會光學工程會議上，國家標準技術研究院、SEMATECH公司將正式向社會公布此項成果。

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