專業維修德國 SINGULUS 濺鍍電源、美國 MKS/ENI 濺鍍電源、ADVANCED ENERGY 、美國 AE 濺鍍電源、RF 射 頻電源、DC 直流電源、AC 交流電源。更專業的技術,更迅速的響應高速增長的等離子體薄膜制造工藝之尖端電源的維修。
主要維修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等國際品牌 RF 射頻電源及直流電源 。同時為各地區的半導體、數據存儲、光電子、真空鍍膜、平板顯示、研究所等行業提供專家級射頻電源維修保養。為 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護服務。
Ion Beam Drive : ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500
DC( 直流系列 ) :
MDX Series: MDX 5 、 MDX 10 、 MDX 20 、 MDX 30 、 MDX-052 、 MDX 1K 、 MDX 1.5K 、 MDX 500 、 MDX Delta ; MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW) ; PINNACLE Series: Pinnacle 6KW 、 Pinnacle 12KW 、 Pinnacle 10KW 、 Pinnacle 20KW 、 Pinnacle 8KW 、 Pinnacle 15KW 、 PINNACLE 3000 ; PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW 、 Pinnacle Plus+ Dual output 5KW 、 Pinnacle Plus+ 10KW ; DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW 、 Pinnacle Diamond 10KW 、 Pinnacle Diamond 15KW ; MDX-L Series: MDX-L6 、 MDX-L 6kWHALO 、 MDX-L12 、 MDX-L 12M 、 MDX-L 12M 650 、 MDX-L18 ; SPARC Series: Sparc-le 20 、 Sparc-le V 、 Sparc VS ; E'Wave ; DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
AC( 交流 / 中頻系列 ) :
PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 P E-20K 、 PE-30K 、 PE-1000SG ; PE II : PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW ; PDX : PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000 、 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ; PDW 600 、 PDW 2200 ; PDP 2500 、 PDP 3500 ; PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 ; Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D