美國(guó)斯坦福大學(xué)日前披露了使用小型MEMS加速度傳感器，在耳朵中嵌入人工內(nèi)耳的技術(shù)。在韓國(guó)漢城召開(kāi)的MEMS技術(shù)國(guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議“TRANSDUCERS’05”上進(jìn)行了技術(shù)發(fā)表。
此次發(fā)表的是通過(guò)被稱為耳小骨的骨頭，將鼓膜振動(dòng)傳導(dǎo)給加速度傳感器來(lái)捕捉聲音的技術(shù)。目前一般采用在耳外裝麥克的方法，但這種方法捕捉不到風(fēng)嘯等人耳聽(tīng)不到的聲音。而要想把麥克置入耳中，為了避免水分和灰塵等進(jìn)入麥克內(nèi)部，就必須將麥克密封起來(lái)。但業(yè)界認(rèn)為將麥克密封起來(lái)以后，存在靈敏度下降的問(wèn)題。此次則采用了利用加速度傳感器而不是麥克得到與聲壓相應(yīng)的振動(dòng)的方法。
加速度傳感器采用密閉式封裝，尺寸僅387μm×387μm×230μm。重量為100μg。這樣的尺寸對(duì)于構(gòu)成耳小骨的3塊骨頭顯得非常小，能夠裝在骨頭上。另外，相對(duì)于耳小骨近50mg的重量也非常輕，即使裝在這塊骨頭上，對(duì)鼓膜傳導(dǎo)的振動(dòng)也不會(huì)產(chǎn)生太大的影響。
實(shí)驗(yàn)得知，100～10kHz頻帶的60至120dB聲壓對(duì)于耳小骨就相當(dāng)于40μ～3g（1g為9.8m/秒2）的加速度。此次使用的加速度傳感器分辨率為0.47mg/（Hz的平方根），因此聽(tīng)不到頻率在100Hz以下的聲波。
此次開(kāi)發(fā)的3軸加速度傳感器采用由橫梁支撐重量的結(jié)構(gòu)，在橫梁的側(cè)面裝有壓電電阻元件。在上面涂覆厚20μm的epi-poly膜后進(jìn)行封裝。
此次發(fā)表的是通過(guò)被稱為耳小骨的骨頭，將鼓膜振動(dòng)傳導(dǎo)給加速度傳感器來(lái)捕捉聲音的技術(shù)。目前一般采用在耳外裝麥克的方法，但這種方法捕捉不到風(fēng)嘯等人耳聽(tīng)不到的聲音。而要想把麥克置入耳中，為了避免水分和灰塵等進(jìn)入麥克內(nèi)部，就必須將麥克密封起來(lái)。但業(yè)界認(rèn)為將麥克密封起來(lái)以后，存在靈敏度下降的問(wèn)題。此次則采用了利用加速度傳感器而不是麥克得到與聲壓相應(yīng)的振動(dòng)的方法。
加速度傳感器采用密閉式封裝，尺寸僅387μm×387μm×230μm。重量為100μg。這樣的尺寸對(duì)于構(gòu)成耳小骨的3塊骨頭顯得非常小，能夠裝在骨頭上。另外，相對(duì)于耳小骨近50mg的重量也非常輕，即使裝在這塊骨頭上，對(duì)鼓膜傳導(dǎo)的振動(dòng)也不會(huì)產(chǎn)生太大的影響。
實(shí)驗(yàn)得知，100～10kHz頻帶的60至120dB聲壓對(duì)于耳小骨就相當(dāng)于40μ～3g（1g為9.8m/秒2）的加速度。此次使用的加速度傳感器分辨率為0.47mg/（Hz的平方根），因此聽(tīng)不到頻率在100Hz以下的聲波。
此次開(kāi)發(fā)的3軸加速度傳感器采用由橫梁支撐重量的結(jié)構(gòu)，在橫梁的側(cè)面裝有壓電電阻元件。在上面涂覆厚20μm的epi-poly膜后進(jìn)行封裝。
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本文鏈接：斯坦福大學(xué)使用小型MEMS加速度傳感器
http:www.mangadaku.com/news/2005-6/20056994143.html
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