歐姆龍公司日前推出了用于測(cè)量“AI值”的血壓脈波測(cè)量?jī)x“HEM-9000AI”。“AI值”是一項(xiàng)用來(lái)了解“腦梗塞”和“心肌梗塞”等循環(huán)系統(tǒng)疾病發(fā)展情況的指標(biāo)。為了利用戴在手腕上的傳感器裝置輕松測(cè)量脈搏情況，該公司開(kāi)發(fā)出了靈敏度和過(guò)去相同而元件尺寸僅為1/25的壓力傳感器，并將其配備到了傳感器裝置上。
此次的壓力傳感器在15mm×7mm的硅芯片中集成了相當(dāng)于40個(gè)通道的壓力傳感器元件，各元件的尺寸僅有0.2mm見(jiàn)方。在硅芯片上將這種元件配置成了方格狀。之所以要縮小元件尺寸，目的是為了能在芯片中集成盡可能多的元件，以便更好地找到手腕上的動(dòng)脈。壓力傳感器元件使用了硅薄膜，可根據(jù)薄膜受力時(shí)的變形程度測(cè)出壓力。過(guò)去，為了確保足夠的靈敏度，硅薄膜一般設(shè)計(jì)較大，壓力傳感器元件的尺寸為1mm見(jiàn)方。“否則，靈敏度就達(dá)不到 1/100mmHg”。
為了能在尺寸減至0.2mm見(jiàn)方以后實(shí)現(xiàn)1/100mmHg的靈敏度，硅薄膜“比過(guò)去做得更薄了”。也就是說(shuō)薄膜更容易產(chǎn)生變形了。硅薄膜是從正面向背面對(duì)硅底板進(jìn)行蝕刻而形成的。首先沿垂直方向切削硅底板，最后將背面切剩下的很薄的那部分硅當(dāng)作薄膜來(lái)使用。此次，剩下的那部分硅比過(guò)去更薄。該公司通過(guò)預(yù)先使用薄型硅底板，以及對(duì)蝕刻量進(jìn)行精確管理，從而形成了很薄的硅薄膜。從小型與高靈敏度上來(lái)講，不僅是醫(yī)療，包括工業(yè)和民用壓力傳感器元件在內(nèi)，此次開(kāi)發(fā)的壓力傳感器元件“從技術(shù)上來(lái)說(shuō)都是最先進(jìn)的”。至于硅薄膜的具體厚度，該公司沒(méi)有公布。
此次的壓力傳感器在15mm×7mm的硅芯片中集成了相當(dāng)于40個(gè)通道的壓力傳感器元件，各元件的尺寸僅有0.2mm見(jiàn)方。在硅芯片上將這種元件配置成了方格狀。之所以要縮小元件尺寸，目的是為了能在芯片中集成盡可能多的元件，以便更好地找到手腕上的動(dòng)脈。壓力傳感器元件使用了硅薄膜，可根據(jù)薄膜受力時(shí)的變形程度測(cè)出壓力。過(guò)去，為了確保足夠的靈敏度，硅薄膜一般設(shè)計(jì)較大，壓力傳感器元件的尺寸為1mm見(jiàn)方。“否則，靈敏度就達(dá)不到 1/100mmHg”。
為了能在尺寸減至0.2mm見(jiàn)方以后實(shí)現(xiàn)1/100mmHg的靈敏度，硅薄膜“比過(guò)去做得更薄了”。也就是說(shuō)薄膜更容易產(chǎn)生變形了。硅薄膜是從正面向背面對(duì)硅底板進(jìn)行蝕刻而形成的。首先沿垂直方向切削硅底板，最后將背面切剩下的很薄的那部分硅當(dāng)作薄膜來(lái)使用。此次，剩下的那部分硅比過(guò)去更薄。該公司通過(guò)預(yù)先使用薄型硅底板，以及對(duì)蝕刻量進(jìn)行精確管理，從而形成了很薄的硅薄膜。從小型與高靈敏度上來(lái)講，不僅是醫(yī)療，包括工業(yè)和民用壓力傳感器元件在內(nèi)，此次開(kāi)發(fā)的壓力傳感器元件“從技術(shù)上來(lái)說(shuō)都是最先進(jìn)的”。至于硅薄膜的具體厚度，該公司沒(méi)有公布。
免責(zé)聲明：本文僅代表作者個(gè)人觀點(diǎn)，與電源在線網(wǎng)無(wú)關(guān)。其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)本站證實(shí)，對(duì)本文以及其中全部或者部分內(nèi)容、文字的真實(shí)性、完整性、及時(shí)性本站不作任何保證或承諾，請(qǐng)讀者僅作參考，并請(qǐng)自行核實(shí)相關(guān)內(nèi)容。
本文鏈接：歐姆龍推出高敏壓力傳感器血壓測(cè)量?jī)x
http:www.mangadaku.com/news/2005-9/200591210466.html
http:www.mangadaku.com/news/2005-9/200591210466.html
0755-82905460
郵箱 
：
