沈陽崛起IC裝備企業群

    什么是IC？IC即集成電路，是電子設備中最重要的部分，承擔著運算和存儲的功能。IC裝備是指生產半導體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產設備。IC是計算機業、數字家電業、通信等行業的“心臟”。而生產“心臟”部件的設備————IC裝備業，因占據了科技的制高點，被稱為制造業的“珠穆朗瑪峰”。

    我國彩電、手機、臺式計算機、DVD播放機等產品的產量雖居世界第一，但關鍵芯片仍依賴進口。就單一產品而言，芯片已經成為我國進口總值最大的商品。IC產業是一個技術密集和資金密集的產業。說它小，IC產品可以比紙片薄，卻比黃金貴。說它大，IC產業事關國民經濟與國防安全，是一個先導性、戰略性產業。

    自主創新 培育產業集群

    “我們可以生產IC產品，但我們現在全部依靠進口IC設備。如果IC裝備業不能依靠自主創新盡快趕上來，我國IC產業只能是‘代代引進、代代落后’，總是受制于人。”沈陽IC裝備創新產業園負責人鄭廣文這樣介紹沈陽IC起步的背景。

    介入IC裝備制造領域，沈陽不是最早的卻是發展最快的。作為東北裝備制造業基地，沈陽瞄準國際IC產業及其裝備產業向中國轉移的發展契機，將IC裝備制造作為老工業基地產業升級的著力點加以推動發展，并于2004年率先建立了全國第一個IC裝備制造產業基地，2005年建設了沈陽IC裝備創新產業園，并編制了發展IC裝備產業的“十一五”規劃。

    目前，沈陽IC裝備產業基地聚集了中科儀、芯源半導體、新松機器人、博微公司等涵蓋IC裝備產業鏈上多數環節的30多家IC裝備廠商，產業園區也從最初的零部件加工、子系統研制發展到單元、整機制造全面發展格局，產業集群已經初步形成。各企業之間優勢互補、通力合作，在超真空獲得系統、成膜設備、勻膠顯影機、真空潔凈機器人、超潔凈真空泵和高精度零部件加工等方面取得了重要突破，其中勻膠顯影設備使國內技術水平提升了3個產品代，達到國際先進水平，另有多項產品填補國內空白。

    從科技成果來看，由沈陽芯源微電子設備有限公司研制的12英寸晶圓先進封裝設備通過嚴格的工藝檢測驗收，已正式投入生產使用。這是國內首臺12英寸芯片制造設備，是國產IC裝備在晶圓尺寸和新工藝應用上的重大突破。2007年6月，沈陽IC裝備產業基地被國家認定為全國中小企業技術服務項目試點產業集群之一，是全國惟一的IC裝備產業集群試點。

    發揮優勢  實現錯位發展

    IC裝備產業林林總總，全面突破技術瓶頸并順利實現產業化，靠任何一個城市的單兵突進都是不可能完成的任務。沈陽IC產業的跨越式發展得益于“發揮比較優勢錯位發展”的思路。

    早在“十五”期間，北京市和上海市就在刻蝕機、離子注入機和光刻機三項IC裝備研發領域加大投入，并爭取到國家專項資金近10億元。IC裝備核心技術的突破，依然面臨技術瓶頸下移的掣肘，真空泵、閥門、機械手等基礎單元部件依然全部依賴進口。而在這些環節，沈陽IC裝備產業卻積累了很多研發力量并取得了相應的技術成果，比如IC產業必需的真空技術、自動化技術、特種工藝等方面沈陽具有得天獨厚的條件。

    沈陽擁有我國惟一的國家真空儀器裝置工程技術研究中心、惟一的真空專業博士點，擁有我國機器人研究開發的頂尖機構(中科院沈陽自動化所)、擁有較早研制生產半導體器件和集成電路的研究所(東北微電子研究所)，同時還擁有IC裝備應用材料的技術支撐機構————中科院沈陽金屬研究所。沈陽IC產業因而得到了協調發展，不僅有能力實現以上單元部件自給自足，同時為建設我國最大的IC裝備單元部件制造基地做好了技術準備。正因如此，沈陽與北京、上海的IC裝備產業基地相比起步晚、規模小，但發展勢頭非常強勁，用兩年的時間迅速躋身于我國IC裝備產業基地之列，迎來了歷史性的發展機遇。2006年1月，中國工程院信息裝備制造業調研組到沈陽調研時給予中肯評價：北京、上海、沈陽是全國IC裝備方面最具優勢的地域，沈陽IC裝備產業已和北京、上海形成三足鼎立之勢。

    即便如此，沈陽依然有很強的緊迫感。沈陽渾南新區、沈陽國家高新技術開發區管委會主任黃凱介紹說，IC產品、IC裝備全球市場需求每年都有上千億美元，然而無論是我國IC裝備產業的規模還是技術水平，與世界先進水平都存在較大差距。國外12英寸晶圓設備已經成熟，我國8英寸晶圓設備仍在試制階段，70%以上的8英寸生產線采購的是二手設備，還沒有真正形成核心產品和關鍵技術的開發能力，沒有能與跨國公司抗衡并不斷促進產業升級的龍頭企業。高端IC裝備與材料完全依賴進口、制造工藝自主創新能力不足的局面亟待扭轉，設備材料等的高門檻嚴重制約著產業可持續發展能力和市場核心競爭力的建立。

    整合資源  打造產業價值鏈

    從全球范圍來看，IC裝備制造業集中度很高，1%的企業占據著90%以上的市場份額，因此“強者恒強”是這一行業的基本特征。

    建設完整的集成電路產業鏈對于我國的經濟安全來說十分必要。面對IC產業的技術封鎖和知識產權壁壘，IC設備的國產化取得突破性進展必須有新的途徑、新的思路。鄭廣文說：“引進國外智力、國際廠商并使其本地化是IC裝備制造業國產化的一個重要途徑。另外，國內廠家應該與國際大廠商加強合作，借助對方在渠道、技術和品牌等方面的優勢。”在高端人才引進方面，沈陽渾南新區不求所有，但求所用，以政策扶持、金融支持的吸引力，凝聚了眾多國內外優秀企業的領軍人物，吸引了一批優秀的海外技術專家。在企業引入上，渾南新區注重大企業大項目的牽動作用。

    由于我國IC裝備企業還多數處于起步階段，有一個良好的孵化、破殼、成長環境至關重要。作為目前國內惟一的IC裝備專業孵化器，沈陽IC裝備產業(孵化)園千方百計為IC裝備企業的孵化、發展提供完善的服務體系和技術支撐，現已建立了市場開發和公共技術研發兩大中心和零部件公共檢測、公共潔凈環境裝配以及零部件加工三大平臺，為沈陽IC裝備產業集群內企業提供必須的公共技術服務，解決企業成長、發展的共性問題。園區企業在公共技術研發和攻關合作上互相支持，已開展一系列項目合作。比如，芯源公司、科儀公司與博微公司聯合研發IC裝備公共控制軟件平臺，新松公司與芯源公司聯合開發真空機械手，沈陽先進制造技術產業發展公司與中科院沈陽自動化所聯合開發SRP系統。

    《國家中長期科學和技術發展規劃綱要(2006—2020年)》已經把核心電子器件、高端通用芯片及大規模集成電路制造技術及成套工藝等列為重大專項；在國家發改委、信息產業部、科技部共同發布的《我國信息產業擁有自主知識產權的關鍵技術和重要產品目錄》中，多項內容都涉及IC與元器件等基礎電子產品。

    即將出臺的《鼓勵軟件產業和集成電路產業發展的新政策》，包括國家中長期科學和技術發展規劃相關的集成電路技術兩大重大科技專項，是我國IC產業發展史上又一重大政策措施。它不僅引導我國IC技術創新及其進步，建立自主知識產權的創新體系，進而對資金、人才等資源集聚，推動創業投資，扎實打造起我國IC創新產品開發及其產業化的整個價值鏈都起著不可或缺的作用。