中國LED專利突破 MOCVD設備量產(chǎn)

    在LED高端設備中，MOCVD是高亮度LED芯片生產(chǎn)過程中最關鍵的設備，因設備技術難度高、開發(fā)周期長以及國內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因，市場一直被歐美企業(yè)壟斷。

    雖然我國逐漸在LED外延芯片與封裝在規(guī)模與素質上都取得重大成就，產(chǎn)品國產(chǎn)化比例顯著提升，但關鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進口，生產(chǎn)成本居高不下，嚴重制約著LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

    近日，具有國際尖端技術水平的國內(nèi)首臺MOCVD（金屬有機化學氣相沉積設備）設備在正泰集團上海張江理想能源設備有限公司成功下線，并與世界知名的臺資龍頭企業(yè)簽約。此舉打破了高亮度LED芯片設備生產(chǎn)長期被歐美企業(yè)壟斷的局面，使重大裝備國產(chǎn)化邁出堅實一步。

    2010年9月，理想能源啟動MOCVD項目，在短短兩年時間里，設計開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權的MOCVD設備，并完成了第一代單腔體獨立設備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝，成功地實現(xiàn)GaN基LED外延片的發(fā)光。

    經(jīng)過設備原型機近一年的運行證明，其性能達到甚至超過預定指標，并于2012年5月通過上海市科委驗收。依據(jù)工藝驗證結果和客戶反饋，在第一代原型機的基礎上開發(fā)出第二代量產(chǎn)型MOCVD設備，單腔一次可生產(chǎn)84片2英寸外延片，超過主流進口設備。量產(chǎn)機型在產(chǎn)出率、可靠性、運行經(jīng)濟性等方面都有了顯著的提升，并已申請20項國內(nèi)外專利。<