B系列偏壓電源
產(chǎn)品詳情
B系列逆變偏壓電源主要用于多弧離子鍍膜、磁過濾電弧離子鍍膜、直流磁控濺射鍍膜、非平衡磁控濺射鍍膜和孿生靶中頻磁控濺射鍍膜、等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)等。主要作用包括:被鍍工件表面的輝光放電清洗、鍍膜前的離子轟擊、鍍膜時的離子加速等。合理選用偏壓電源可以有效地抑制工件表面打火,明顯提高鍍件的成品率、表面光潔度和膜基結(jié)合力。B系列偏壓電源是傳統(tǒng)直流偏壓電源的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
主要特點
1.采用先進的開關(guān)電源技術(shù),具有體積小、效率高、運行穩(wěn)定、噪聲低、對
電網(wǎng)干擾小等優(yōu)點。B系列偏壓電源在節(jié)能和鍍膜工藝的穩(wěn)定性上顯示出明
顯的優(yōu)勢。
2.具備自動穩(wěn)壓功能,可在電網(wǎng)電壓和負載波動情況下,保證電源高效、穩(wěn)
定地工作,充分保證鍍膜工藝的重復(fù)性。
3.針對實際工作時存在的頻繁打火現(xiàn)象,設(shè)計了多重實用保護措施。B系列電
源能在頻繁打火時充分保護電源及生產(chǎn)工件不被損壞,并且能連續(xù)穩(wěn)定地
工作。
4. 直流/脈沖電壓、脈沖寬度、脈沖頻率等均能在面板上方便地調(diào)節(jié)。
Ⅰ、BD 直流偏壓電源
主要特點
輸出為直流,具有穩(wěn)壓功能。電源操作簡單、價格便宜。
主要參數(shù)
工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內(nèi)的電壓連續(xù)可調(diào)、自動穩(wěn)壓,穩(wěn)壓精度1% 。
A:100~1000V
B:50~500V
主要規(guī)格
按輸出功率分為2kW、5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
II、BP單極脈沖偏壓電源
主要特點
輸出為單極脈沖,具有脈沖幅值穩(wěn)壓功能。使用本電源能明顯減少工件打火,通過調(diào)節(jié)脈沖頻率及占空比可控制成膜溫度,增加膜基結(jié)合力,提高沉積速率。
主要參數(shù)
工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內(nèi)的電壓連續(xù)可調(diào),脈沖上升、下降快,脈沖幅值穩(wěn)定:
A:100~1000V
B:50~500V
脈沖頻率:40kHz~80kHz (連續(xù)可調(diào)或定頻)
脈沖占空比:10%~80% 連續(xù)可調(diào)
主要規(guī)格
按輸出功率分為 2kW、5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
III、BDP直流疊加脈沖偏壓電源
主要特點
可方便地在帶載情況下通過調(diào)節(jié)直流電壓和脈沖電壓實現(xiàn)直流、單極脈沖和直流疊加脈沖三種偏壓模式。配合脈沖頻率和占空比調(diào)節(jié),可控制成膜溫度,增加膜基結(jié)合力,提高沉積速率。本電源特別適用于低溫高速沉積和高品質(zhì)鍍膜系統(tǒng)。
主要參數(shù)
負脈沖工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內(nèi)的電壓連續(xù)可調(diào)、脈沖上升、下降快,脈沖幅值穩(wěn)定:
A:100~1000V
B:50~500V
直流電壓:20V~200V連續(xù)可調(diào)、自動穩(wěn)壓,穩(wěn)壓精度1%
脈沖頻率:40kHz~80kHz (連續(xù)可調(diào)或定頻)
脈沖占空比:10%~80% 連續(xù)可調(diào)
主要規(guī)格
按輸出功率分為5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
IV、 BBP系列雙極脈沖偏壓電源
主要特點
正偏壓脈沖的使用能中和絕緣膜層上的電荷積累,正負脈沖占空比獨立可調(diào),明顯減少工件打火,本電源特別適用于鍍介質(zhì)膜層和高品質(zhì)膜層。
主要參數(shù)
負脈沖工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內(nèi)的電壓連續(xù)可調(diào),脈沖上升、下降快,脈沖幅值穩(wěn)定:
A:100~1000V
B:50~500V
正脈沖電壓:10V~100V, 連續(xù)可調(diào) 脈沖幅值穩(wěn)定
正負脈沖頻率:40kHz~80kHz (連續(xù)可調(diào)或定頻)
正負脈沖占空比:10%~80% 獨立連續(xù)可調(diào)
主要規(guī)格
按輸出功率分為5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
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