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國內首創基于微棱鏡陣列的哈特曼波前傳感器，2004年4月中旬由中科院光電所研制成功。該項技術以二元光學制作的鋸齒形相位光柵陣列（微棱鏡陣列）代替以往的微透鏡陣列，建立了一種新型哈特曼波前傳感器。該項技術已申請在光學檢測、人眼像差測量和脈沖光光束質量診斷等應用場合的國家發明專利，是我國在光束診斷和光學檢驗技術領域的又一項創新突破。
該項研究為中科院光電所領域前沿部署課題項目，目標在于開展波前探測技術領域的創新研究，與原有微透鏡哈特曼傳感器技術比較，本技術創新性地采用鋸齒形相位光柵陣列，建立了基于該微棱鏡陣列的新型哈特曼波前傳感器，完全實現了波前測量功能，從而使光電所在哈特曼波前傳感器創新研制領域擁有了自己的技術專利，將有助于打破國外專利限制，推動產業化發展。
目前該技術已開始向產品化試制階段過渡，近期目標為研制適用于車間環境下的光學鏡面檢測儀器，相對于對環境敏感的干涉儀和要求經驗、無法定量的樣板法檢驗，將為工廠光學檢測提供一種對環境要求低、使用方便、性價比更為合理的測量產品。 |
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