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顆粒硅帶襯底上多晶硅薄膜電池研制取得新進(jìn)展

2005/9/8 9:36:58   電源在線網(wǎng)
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  目前中國科學(xué)院廣州能源研究所太陽能實(shí)驗(yàn)室承擔(dān)的國家“863”項(xiàng)目“顆粒硅帶襯底上多晶硅薄膜電池的研制”在顆粒硅帶襯底制備方面取得了新的進(jìn)展。多晶硅薄膜電池對襯底的要求是非常苛刻的,它不僅要求襯底滿足與硅的化學(xué)相熔性好、熱膨脹系數(shù)匹配,而且還要求襯底表面平整、光滑以適于隨后的電池制備過程。

  近來,太陽能實(shí)驗(yàn)室相關(guān)科研人員通過對原來顆粒硅帶制備工藝的優(yōu)化,在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)成功地制備出表面質(zhì)量較好的顆粒硅帶,制備的顆粒硅帶表面光滑而且平整,非常適合多晶硅薄膜的外延和薄膜電池制備過程。下階段的研究工作將進(jìn)一步圍繞多晶硅薄膜電池器件的制備展開。
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