在LED高端設(shè)備中，MOCVD是高亮度LED芯片生產(chǎn)過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備，因設(shè)備技術(shù)難度高、開發(fā)周期長(zhǎng)以及國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因，市場(chǎng)一直被歐美企業(yè)壟斷。
雖然我國(guó)逐漸在LED外延芯片與封裝在規(guī)模與素質(zhì)上都取得重大成就，產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化比例顯著提升，但關(guān)鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進(jìn)口，生產(chǎn)成本居高不下，嚴(yán)重制約著LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
近日，具有國(guó)際尖端技術(shù)水平的國(guó)內(nèi)首臺(tái)MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備）設(shè)備在正泰集團(tuán)上海張江理想能源設(shè)備有限公司成功下線，并與世界知名的臺(tái)資龍頭企業(yè)簽約。此舉打破了高亮度LED芯片設(shè)備生產(chǎn)長(zhǎng)期被歐美企業(yè)壟斷的局面，使重大裝備國(guó)產(chǎn)化邁出堅(jiān)實(shí)一步。
2010年9月，理想能源啟動(dòng)MOCVD項(xiàng)目，在短短兩年時(shí)間里，設(shè)計(jì)開發(fā)出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備，并完成了第一代單腔體獨(dú)立設(shè)備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝，成功地實(shí)現(xiàn)GaN基LED外延片的發(fā)光。
經(jīng)過(guò)設(shè)備原型機(jī)近一年的運(yùn)行證明，其性能達(dá)到甚至超過(guò)預(yù)定指標(biāo)，并于2012年5月通過(guò)上海市科委驗(yàn)收。依據(jù)工藝驗(yàn)證結(jié)果和客戶反饋，在第一代原型機(jī)的基礎(chǔ)上開發(fā)出第二代量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備，單腔一次可生產(chǎn)84片2英寸外延片，超過(guò)主流進(jìn)口設(shè)備。量產(chǎn)機(jī)型在產(chǎn)出率、可靠性、運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性等方面都有了顯著的提升，并已申請(qǐng)20項(xiàng)國(guó)內(nèi)外專利。<
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