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ENI電源 MKS電源 RF射頻電源

公司名稱(chēng)：廣州市伊恩埃半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
所屬類(lèi)別：其他類(lèi)>>其他
電子信箱：hamton.lin@aeni.com.cn
聯(lián)系電話：86-755-29880678
聯(lián) 系人：林先生
更新時(shí)間：2012-2-17 17:28:55

產(chǎn)品詳情

ENI/MKS RF電源

Spectrum RF電源
Spectrum 系列RF電源包括了1.5、3.0、5.0和10kW功率的高頻電源。Spectrum系列的特點(diǎn)是緊湊和模塊化、易于升級(jí)，具有精確的電源控制能力和±1℅的精度，高可靠性以及杰出的RF功率密度。可選配圖形用戶接口和0－1kHz脈沖調(diào)制。推薦的Spectrum 系列電源的選配件有（需另外定購(gòu)）：外接的模擬型或數(shù)字型接口。

Genesis系列RF電源
Genesis系列RF發(fā)生器可用于高可靠性的刻蝕工藝、CVD和PVD工藝中。該系列產(chǎn)品的頻率涵蓋了低頻到高頻，功率從1250 W到8500 W。基于數(shù)字信號(hào)處DSP的功率控制系統(tǒng)能夠檢測(cè)內(nèi)部子系統(tǒng)的狀態(tài)，并配有內(nèi)建的診斷和自動(dòng)防故障的存儲(chǔ)器件。

ACG系列RF電源
ACG系列是低功率的、頻率為13.56 MHz的RF發(fā)生器。ACG系列RF等離子RF發(fā)生器是基于微處理器、輕便緊湊型設(shè)備，帶有載荷失配保護(hù)裝置，具有杰出的穩(wěn)定性。ACG的功率范圍涵蓋了300W到1000W。

OEM系列RF電源
OEM系列是由微處理器控制的、水冷的線性RF發(fā)生器，可用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。它以杰出的可靠性和高RF穩(wěn)定性而著稱(chēng)。600W到2.8kW的功率輸出，輸出波動(dòng)為全量程的±1℅,頻率:13.56 MHz,輸入電源：208∨或380∨三相交流電，50∕60 Hz.

ENI(MKS)維修案例 RF電源 Spectrum-10513-10

ENI(MKS)維修案例 RF電源 SPECTRUM B-5002-02

ENI(MKS)維修案例 RF電源ACG-10

ENI(MKS)維修案例 OEM Series RF

ENI(MKS)維修案例 RF電源 OEM-1250B

ENI(MKS)維修案例 SPECTRUM RF POWER SENSE

ENI(MKS)維修案例 GMW-50A-13DF3H0-003

ENI(MKS)維修案例 GHW50Z-13DF3HO-00

ENI(MKS)維修案例 GHW50A-12DF3S0-000

ENI(MKS)維修案例 GHW25A-13DF3N0-001

ENI(MKS)維修案例　RF電源　GHW-12Z

ENI(MKS)維修案例 RF電源 GHW-12A

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