ENI電源維修、MKS電源維修（圖）
產(chǎn)品詳情
ENI/MKS DC電源
DCG系列直流電源
可靠的DCG系列直流輸出功率范圍為5kW到60kW，通過主、從單元的結(jié)合，它可以輸出所要求的功率。MKS ENI產(chǎn)品的傳感器電路對(duì)主、從單元的結(jié)合進(jìn)行監(jiān)控，以在所有的輸出功率上均能獲得極好的功率精度和線性度。先進(jìn)的電路和設(shè)計(jì)降低了電弧放電的能量和敏感性，從而減小了微粒的產(chǎn)生，提升了工藝成品率。
DCG－75 7.5kW直流電源
●總輸出功率：主單元7.5kW，無按鈕
●前面板：空
●電弧控制：強(qiáng)電弧（標(biāo)準(zhǔn)配置），被動(dòng)式微電弧
●輸入電源：360－440∨三相交流，電流18A，48－62Hz
●冷卻方式：氣冷
●遙控接口：數(shù)字RS－232∕422
●尺寸（高×寬×長）：5.22×18.9×24.8英寸（132.5×480×631mm）
●重量：53磅（24.1kg）
DCG－100 5－30kW直流電源
●總輸出功率:5 Kw,10 kW,15 kW,20 kW,25 kW,30 kW（視型號(hào)而定）3個(gè)按鈕或無按鈕
●配置：5 kW和10 kW主單元，雙5 kW主單元，5 kW和10 kW從單元
●前面板：主單元：空面板或全功能面板（視型號(hào)而定）,從單元：空面板
●電弧控制：強(qiáng)電弧（標(biāo)準(zhǔn)配置），Arckill（選配件）
●輸入電源：三相/48－62Hz /5 kW ,10 kW和雙5 kW
兩線之間 正常值∕最大值 正常值∕最大值
180－230∨ 19A∕25A 35A∕45A
362－440∨ 11A∕14A 19A∕25A
DCG－150 15 kW直流電源
●總輸出功率：主單元15 kW，無按鈕
●前面板：空面板
●電弧控制：強(qiáng)電弧（標(biāo)準(zhǔn)配置），被動(dòng)式微電弧
●輸入電源：360－440∨三相交流，電流36A，48－62Hz
●冷卻方式：氣冷
●遙控接口：數(shù)字型RS－232∕422
●尺寸（高×寬×長）：5.22×18.9×24.8英寸（132.5×480×631mm）
●重量：58.1磅（26.4kg）
DCG－200 20 kW直流電源
●總輸出功率：20 kW，3個(gè)按鈕或無按鈕
●配置： 20 kW主單元，雙10 kW主單元，20 kW從單元
●前面板：主單元：空面板或全功能面板（視型號(hào)而定）,從單元：空面板
●電弧控制：強(qiáng)電弧（標(biāo)準(zhǔn)配置），Arckill（選配件）
●輸入電源：三相/48－62Hz /20 kW,雙10 kW
兩線之間 正常值∕最大值 正常值∕最大值
180－230∨ 64A∕80A 64A∕80A
362－440∨ 32A∕40A 32A∕40A
DCG－400 40 kW直流電源
●總輸出功率：40 kW，無按鈕
●配置：20 kW主單元，20 kW從單元
●電弧控制：強(qiáng)電弧（標(biāo)準(zhǔn)配置），被動(dòng)式微電弧
●輸入電源：三相/47－62Hz /40 kW
兩線之間 正常值∕最大值
180－230∨ 75A∕85A
440－504∨ 40A∕45A
●冷卻方式：氣冷
●遙控接口：數(shù)字型RS－232∕422， DeveceNet
●尺寸（高×寬×長）：主、從單元都為5.22×18.9×24.8英寸（132.5×480×631mm）
●重量：主從單元都為62磅（28 .1kg）
DCG－600 60 kW直流電源
●總輸出功率：60 kW，無按鈕
●配置： 20 kW主單元， 20 kW從單元（兩個(gè)）
●前面板：主單元：全功能面板，從單元：空面板
●電弧控制：強(qiáng)電弧（標(biāo)準(zhǔn)配置），被動(dòng)式微電弧
●輸入電源:三相/47－62Hz /40 kW
兩線之間 正常值∕最大值
180－230∨ 75A∕85A
440－504∨ 40A∕45A
●冷卻方式：氣冷
●遙控接口：數(shù)字型RS－232∕422，DeveceNet
●尺寸（高×寬×長）：主、從單元都為5.22×18.9×24.8英寸（132.5×480×631mm）
●重量：主從單元都為62磅（28 .1kg）
維修MKS / ENI DC Plasma Generator Power Supply Repair Service ( DCG, RPG, Optima,OEM,GHW,SPECTRUM,NOVA,RACK,PL1-HF,DPG,ACG...)
AENI亞太(上海/廣州/香港)維修中心www.aeni.com.cn
是全球領(lǐng)先的等離子體電源技術(shù)中心, 尖端電源的維修和技術(shù)服務(wù)全球領(lǐng)導(dǎo)者,致力于全球RF解決方案,亞太地區(qū)AE(Advanced Energy ),ENI(MKS)產(chǎn)品最專業(yè)的維修中心,專家熱線:13926002999 | |
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ENI(MKS)維修案例 直流電源 DCG系列 
